1、取来5-10ml的抛光液样品，进行标准样品溶液配制。在此过程中，可采用油浴、水分测定仪、TEM等来测试，记录物理表征。
2、用红外光谱仪（FTIR)扫描，得到抛光液配方的大致红外光谱图，并判定其中的主要成分及含量。
3、用气-质联用仪来研究抛光液的配方组成成分，从图谱上判断出基本的成分含量。
4、液相凝胶色谱仪、核磁共振仪、热重分析仪等3三种分析仪器联用，得到各自的谱图，相互对比，精确判定抛光液配方成分的定性定量结果。
5、分析工程师凭借以往分析过的抛光液技术经验，与权威图谱分析数据库做比照，科学计算其抛光液成分的含量误差区间，印证分析结果，出分析报告。
