1、不稳定的摩擦所引起：如指针、摆锤轴承不灵活，工作活塞和测力活塞有摩擦。可仔细检查，清洗修整，消除摩擦排除故障。
2、三次元测量仪缓冲阀弹簧失效。排除方法配换弹簧。
3、带动测力活塞转动的皮带脱落。挂上皮带即可。
4、用油粘度过大。需要更换粘度适合的油排除故障
5、三坐标测量仪齿杆与齿轮啮合不良或齿杆与上面的弹簧片碰擦。可通过调整齿杆与齿轮的啮合及弹簧片的位置排除。
6、齿杆弯曲。则需要校直或更换齿杆。
7、三次元测量机工作台上的导轮与立柱碰擦。可通过调整导轮与立柱的间隙，保持大约0.5mm间隙排除故障。