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半导体厂为什么叫fab

时间:2024-10-15 13:03:15

芯片加工的无尘车间的通常叫法。

无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚高效过滤器代替高效过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、高效过滤器三级过滤器。

中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。

有些空气净化系统的空气,如经处理仍不能避免交叉污染时,则不能循环使用。

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