高科技厂房的设备制程，因为建筑物本身、人员走动及内部机械与周遭环境之扰动而产生共振，进而导致产品不良率的增加；为有效降低微振动对产品不良率之影响，应使机械设备于符合微振动标准之环境下运作。
测点示意图及数据汇总
1、本次现场振动测试工作采用瑞诽粘辔凉典振动测试仪VMI Viber-X5 测试完成，VMI Viber-X5振动分析系统包含便携式机器状态监测故障诊断单元，逄嫖傺簧搭配VMI-192振动加速度传感器和SpectraPro振动分析软件。
2、按照 要求测量无尘室地面振动数值，共计取6个测点，测点分布如下图测点1、2、3分别分布在三个减振载台上表面；测点4、5、6分别分布在减振载台附近地面
3、测试参数振动速度(Vel.)： 单位 mm/s rms（均方根）检测包含三个方向：垂直Z(Vertical)、水平X（South-North）、水平Y（East-West）
测点频谱图及分析
1、测点1，单位mm/s：垂直、水平、轴向
2、测点2，单位mm/s：垂直、水平、轴向
3、测点3，单位mm/s：垂直、水平、轴向
4、测点4，单位mm/s：垂直、水平、轴向
5、测点5，单位mm/s：垂直、水平、轴向
6、测点6，单位mm/s：垂直、水平、轴向
7、结论：1．减振载台在空载状态下振动超出V觊皱筠桡C-C振动等级标准；2．3楼地面振动超出VC-C振动等级标准。分析：根据频谱分析，减振载台及地面在18.5Hz及25Hz处均有较高振动峰值。建议：根据频谱中的最大分量幅值所对应的频率（18.5Hz、25Hz），排查附近产生此频率振动的设备，并进行减振措施。