均方劐聂赞陶根误差，它是观测值与真值偏差的平方和观测次数n比值的平方根，在实际测量中，观测次数n总是有限的，真值只能用最可信赖（最佳）值来代替。
是方差的算数平方根，是用来衡量一组数自身的离散程度，能更好地反映预测值误差的实际情况。
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RMS 均方根误差值是干涉图中所有数据点高度的标准偏差，是一种面积加权统计量。每个像素点，极端的不极端的，都参与计算得到最后的结果。RMS能够更准确地反映被测表面的光学性能。
PV和RMS误差并没有特定的比例常数。这一比率往往和表面工艺，及测量表面的干涉仪分辨率相关。用Zygo干涉仪测量抛光光学表面，通常PV会是RMS的3到5倍。
具有特定中频误差的表面，如单点金刚石加工的表面，PV 对 RMS 比例通常会比较小，在2到3的范围内。而一个非常大的PV对RMS比率往往是一个信号，在数据中有噪声点，或缺陷点的存在。