1、引入真空室的气体在压力环境下不会电离, 在充入气体电离产生等离子体之前必须达到真空环境。
2、真空环境允许我们控制真空室中气体种类，控制真空室中气体种类对等离子处理体过程的可重复性是至关重要的。
3、单一气体或者混合气体被引入密封的低压真空等离子体室。随后这些气体被两个电极板之间产生的射频（RF）激活，这些气体中被激活的离子加速,开始震动。这种振动“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。
4、等离子体清洗是利用用一个叫做等离子体的电离气体去除材亓歃肿肖料表面所有有机物的过程，通常是在真空室中利用氧气和氩气进行。清洗过程是一个环境安全的过程,不使用有毒害的化学物质。