如何学习ESD设计：[6]ESD设计的一般流程

1、第一步就是定义ESD参数，这包括我们的设计要求，以及根据设计要求得到的诸如击穿电压值，电容值，以及ESD保护能力；

2、第二步是根据设计要求和工艺参数选择最初的ESD器件结构，主要是从常用的四种结构（二极管，三极管，MOS管，以及SCR）中进行选取。

3、第三步是通过工艺模拟创建ESD保护结构。当前的能完成工艺和器件模拟的仿真工具主要是TCAD钱砀渝测（半导体技术计算机辅助设计），主流的软件主要是Synopsys公司的Sentaurus TCAD以及Silvaco公司的TCAD。此步的关键是选择合适的网格，以使得在关键的器件位置仿真的比较精确。在这一步中需要工艺校准，主要是通过SRP（扩展电阻探针）和工艺参数来校准掺杂浓度分布。

4、第四步是通过器件模拟得到直流特性和交流小信号特性。这一步同样需要校准，主要是通过比较测试数据和仿真数据的差别然后调整仿真时的迁移率或者离子碰撞参数等来使仿真和测试匹配。测试数据主要来自DC，CV以及TLP测试。

5、第五步也是关键的一步，实施电路模拟，完成全面的模拟校准。混合模拟与单纯的器件模拟的区别就在于混合模拟可以通过子电路的方式来产生所需要的瞬态ESD波形，比如可以用IEC电路来产生IEC电流波形，这样得到的结果更接近实际从而更可靠。

6、通过得到这些关键的ESD参数来指导真实的ESD版图设计，并且在流片后进行ESD测量，总结。

7、如果上述有哪一步不符合设计，返回第二步重新迭代设计。整个ESD设计流程总结如下。