1、注意三坐标测量仪安装的周围环境的温度、湿度。由于三坐标使用环境的要求，要严格按照安装说明要求，保证仪器使用环境的湿度和温度。
2、气源。 三坐标测量机使用气浮轴承，理论上是恽勿抹嗄永不磨损结构，但是如果气源不干净有油、水或气质。就会造成气浮轴承阻塞，严邓咀挚垡重时会造成气浮轴承和气浮导轨划伤。后果严重，所以每天要检查机床气源，放水、放油。定期清洗过滤器及油水分离器，还应注意机床气源前空气来源。
3、三坐标测量机的导轨加皤材装肢工精度很高，与空气轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其它杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以每次开机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空汽油擦拭（120或180号汽油），花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。
4、开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。