如何学习ESD设计：[2]TCAD仿真工具的使用

1、 sprocess。工艺仿真工具。学习工具主要是需要知道里面的一些常见命令。按照training里给定的例子好好领会，再做做它后面附的习题，可以很快入门。要想更快的学好，就需要更多的去接触，去练习，熟能生巧。里面关于网格的选择，推荐使用自适应网格方法，确保仿真的精准度。

2、sentaurus structure editor。结构编辑器。在这里我们主要用来对工艺仿真的结果网格优化以用来做器件仿真的输入。需要理解的是，工艺仿真的网格优化不同于器件仿真的网格优化，因为这两者对网格精密度的要求并不一致。前者在浓度变化时如扩散等步骤需要加密，后者需要初学者好好体会。

3、 sdevice。器件仿真工具。器件仿真的关键点是根据器件结构的应用场合选择合适的器件物理模型。

4、tecplot_sv。看图软件。仿真得到的tdr后缀文件可以用tecplot来打开。这个软件的功能比较强大，可以用它来看横向和纵向的掺杂浓度曲线，可以看ESD仿真时的热点，可以看PN结耗尽区的变化，可以看电流密度和流向等等。

5、inspect。看曲线软件。这个软件是用来看各种plt后缀文件的。它不止可以用来查看曲线，还可以处理曲线，是TCAD仿真必备必学的工具之一。

6、除此之外，其他的软件大家也需要了解，但是作为TCAD仿真的话，仅用上述5个组件是足够的了。培训教材中有涉及到大家常用的功能，但是如果仍有不骈跪爸锂明白的地方，就需要用到sentaurus的manual了。不建议初学者一上来就看manual，这样效率比较低。只有当碰到training里不明白的地方，再去查询manual就好了，对，就是将其当作词典。当入门之后，有了一定的实践经验再去看manual会有更多收获。